열 증착은 기판에 박막을 증착하는 데 사용되는 물리적 기상 증착(PVD) 기술입니다.
이 방법은 고진공 환경에서 물질이 기화될 때까지 가열하는 것입니다.
그런 다음 기화된 분자가 기판 위에 응축되어 박막을 형성합니다.
열 증착 증착법이란 무엇인가요? (4가지 주요 단계 설명)
1. 고진공 환경
공정은 진공 챔버에서 시작됩니다.
이는 증착 중 가스 입자의 간섭을 방지하기 위해 필수적입니다.
진공 펌프에 의해 진공이 유지되어 소스 재료 주변의 압력이 낮게 유지됩니다.
이를 통해 증착 효율이 향상됩니다.
2. 재료 가열하기
증착할 재료, 즉 증착제는 텅스텐이나 몰리브덴과 같은 내화성 재료로 만들어진 도가니나 보트에 넣습니다.
이 용기는 일반적으로 줄 가열을 통해 재료가 증발할 수 있을 만큼 높은 온도로 가열됩니다.
3. 증기 수송 및 응축
일단 기화되면 분자는 진공을 통해 기판에 도달하기 위해 이동합니다.
증기는 더 차가운 기판과 접촉하면 응축되어 얇은 막을 형성합니다.
이 과정을 반복하여 박막을 더 성장시키고 핵을 형성할 수 있습니다.
4. 다용도성
열 증착은 알루미늄, 은, 니켈 등의 금속을 포함한 다양한 재료를 증착할 수 있는 다목적 기술입니다.
이러한 다재다능함과 공정의 단순성 덕분에 열 증착은 실험실과 산업 환경 모두에서 널리 사용되고 있습니다.
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