진공 증착, 특히 열 증착 또는 진공 열 증착(VTE)은 제조 및 연구에서 기판 위에 박막의 재료를 증착하는 데 사용되는 방법입니다. 이 공정에는 진공 챔버에서 재료를 가열하여 기화시킨 다음 기판에 응축시키는 과정이 포함됩니다.
프로세스:
열 증착 공정은 일반적으로 텅스텐이나 몰리브덴과 같은 내화성 재료로 만들어진 도가니 또는 보트를 수용하는 스테인리스 스틸로 만들어진 진공 챔버에서 시작됩니다. 증착할 물질, 즉 증착제는 이 도가니 또는 보트 내부에 배치됩니다. 진공 환경은 증발된 물질이 가스 분자와 충돌하는 것을 방지하여 깨끗한 증착 공정을 보장하기 때문에 매우 중요합니다. 진공 압력은 증착된 필름의 원하는 오염 수준에 따라 10^-5에서 10^-9 토르까지 다양합니다. 효과적인 증착을 위해서는 재료의 증기압이 최소 10mTorr에 도달해야 합니다.증착 방법:
- 열 증발은 두 가지 주요 방법을 통해 이루어질 수 있습니다:
- 전기 가열: 전기 가열: 전기로 가열된 와이어를 사용하거나 녹는점이 높은 재료로 만든 도가니에서 재료를 가열하는 방법입니다. 이 방법은 녹는점이 매우 높지 않은 재료에 적합합니다.
전자빔 가열: 녹는점이 높은 재료의 경우 전자빔을 사용하여 재료를 가열하고 기화시킬 수 있습니다. 이 방법을 사용하면 가열 공정을 정밀하게 제어할 수 있으며 더 다양한 재료를 처리할 수 있습니다.
진공 조건:
코팅 장치에 필요한 기본 압력은 일반적으로 필요한 층의 품질에 따라 10^-7에서 10^-5 mbar 사이입니다. 이러한 고진공 환경은 기체 분자의 간섭 없이 재료가 기판에 증착되도록 보장하는 물리적 기상 증착(PVD)에 필수적입니다.
애플리케이션:
