금속을 증발시키기 위해 일반적으로 사용되는 두 가지 방법은 전자빔 증발과 열 증발입니다.
1. 전자빔 증발: 이 방법은 집중된 전자 빔을 사용하여 금속을 가열하고 증발시킵니다. 전자의 온도는 일반적으로 약 3000°C이며 고전압 DC 소스가 대상 물질을 향해 전자를 가속합니다. 전자 빔은 금속 표면의 특정 지점으로 향하여 빠른 가열과 기화를 일으킵니다. 이 공정은 텅스텐이나 탄탈륨과 같이 융점이 높은 금속에 특히 유용합니다. 전자빔 증발은 도가니의 오염을 최소화합니다.
2. 열 증발: 이 방법에서는 금속 증발기를 사용하여 다양한 금속을 기판이나 필름에 증발시킵니다. 금속 증발기는 일반적으로 도가니와 열원으로 구성됩니다. 금속을 도가니에 넣은 다음 고온으로 가열합니다. 금속이 녹는점에 도달하면 액체로 변하고 결국 증기로 증발합니다. 이 증기는 챔버 내의 표면에 응축되어 금속의 얇은 층으로 코팅됩니다. 마스크를 사용하여 열 증발을 수행하여 샘플에 특정 패턴을 선택적으로 코팅할 수 있습니다. 알루미늄, 금, 크롬, 게르마늄, 니켈, 실리콘 산화물, 티타늄 등 다양한 금속을 증발에 사용할 수 있습니다.
두 방법 모두 증착 공정 중 가스 충돌과 원치 않는 반응을 최소화하기 위해 고진공 환경이 필요합니다. 금속 증발기는 통제된 조건에서 작동해야 하며 적절한 안전 프로토콜을 따라야 합니다. 금속 증발기를 사용하기 전에 물리학 부서의 노벨 박사와 같은 자격을 갖춘 전문가에게 허가를 받고 교육을 받는 것이 중요합니다.
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