증착과 스퍼터링을 통한 물리적 기상 증착(PVD)은 기판에 박막을 증착하는 두 가지 일반적인 방법입니다. 증발은 진공 상태에서 코팅 재료를 끓는점까지 가열하여 기화시킨 다음 기판 위에 응축시킵니다. 반면 스퍼터링은 고에너지 입자를 사용하여 대상 물질에 충격을 가해 원자 또는 분자가 방출되어 기판에 증착되도록 합니다.
증발:
증발 공정에서는 코팅할 재료를 진공 챔버에서 고온으로 가열하여 끓는점에 도달하여 증기가 될 때까지 가열합니다. 그런 다음 이 증기는 진공을 통과하여 기판의 차가운 표면에 응축되어 얇은 필름을 형성합니다. 가열은 저항 가열 또는 전자빔 가열과 같은 다양한 방법을 통해 이루어질 수 있습니다. 증착의 장점은 단순성과 고순도의 재료를 증착할 수 있다는 점입니다. 그러나 다성분 필름이나 융점이 높은 필름을 증착하는 데는 적합하지 않을 수 있습니다.스퍼터링:
스퍼터링은 플라즈마 방전을 사용하여 대상 물질에서 원자를 방출합니다. 증착할 물질인 타겟은 저압 환경에서 고에너지 이온(일반적으로 아르곤 이온)으로 충격을 받습니다. 이러한 이온의 충격으로 인해 타겟의 원자가 방출되어 기판 위에 증착됩니다. 스퍼터링은 다이오드 스퍼터링, 마그네트론 스퍼터링, 이온 빔 스퍼터링과 같은 다양한 기술을 사용하여 수행할 수 있습니다. 스퍼터링의 장점은 합금과 화합물을 포함한 다양한 재료를 증착할 수 있고 공정 파라미터를 조정하여 필름의 특성을 제어할 수 있다는 점입니다. 그러나 스퍼터링 시스템은 일반적으로 증착 시스템에 비해 더 복잡하고 초기 투자가 더 많이 필요합니다.
