SEM 시료 준비를 위한 스퍼터 코팅은 비전도성 또는 저전도성 시편에 초박막의 전기 전도성 금속 층을 도포하는 작업입니다. 이 공정은 2차 전자 방출을 개선하여 신호 대 잡음비를 높여 전하를 방지하고 SEM 이미지의 품질을 향상시키는 데 매우 중요합니다. 스퍼터링된 금속 층의 일반적인 두께는 2~20nm이며 일반적으로 사용되는 금속에는 금, 금/팔라듐, 백금, 은, 크롬, 이리듐 등이 있습니다.
자세한 설명:
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스퍼터 코팅의 목적:
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스퍼터 코팅은 주로 주사 전자 현미경(SEM)을 위해 비전도성 또는 전도성이 낮은 시편을 준비하는 데 사용됩니다. 전도성 코팅이 없는 시편은 정전기장이 축적되어 전자빔 상호 작용으로 인해 이미지가 왜곡되거나 시편이 손상될 수 있습니다.스퍼터 코팅의 메커니즘:
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- 이 공정에는 금속 타겟에 에너지 입자(일반적으로 이온)를 쏘아 타겟의 원자가 방출되어 시편에 증착되는 스퍼터 증착 기술이 포함됩니다. 이렇게 하면 얇고 균일한 금속 층이 형성되어 시료에 전기 전도성을 제공합니다.스퍼터 코팅의 이점:
- 충전 방지: 스퍼터 코팅은 전도성 경로를 제공함으로써 전자 빔이 편향되어 이미지 품질을 저하시킬 수 있는 시편에 전하가 쌓이는 것을 방지합니다.
- 이차 전자 방출 향상: 금과 백금 같은 전도성 금속은 전자 빔에 부딪히면 이차 전자를 잘 방출합니다. 이는 신호 강도를 증가시켜 SEM 이미지의 해상도와 대비를 향상시킵니다.
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열 손상 감소: 전도성 코팅은 전자빔에서 발생하는 열을 방출하여 민감한 샘플의 열 손상 위험을 줄여줍니다.
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사용되는 금속의 종류:
스퍼터 코팅에는 다양한 금속을 사용할 수 있으며, 각 금속은 SEM 분석의 특정 요구사항에 따라 장점이 있습니다. 예를 들어, 금/팔라듐은 우수한 전도성과 산화에 대한 내성으로 인해 자주 사용되는 반면 백금은 고해상도 이미징에 적합한 견고한 코팅을 제공합니다.
한계와 대안:
