박막 증착을 위한 재료 기화에는 전자빔 증발과 열 증발이라는 두 가지 일반적인 방법이 있습니다.
고려해야 할 5가지 핵심 사항
1. 가열 방법
열 증발은 전류를 사용하여 도가니를 가열합니다. 이렇게 하면 도가니 내부의 물질이 녹은 다음 증발합니다.
반면 전자빔 증발은 고에너지 전자 빔을 사용하여 재료를 직접 가열합니다. 이 빔은 하전된 텅스텐 필라멘트에서 나옵니다.
2. 재료 적합성
열 증발은 금속 및 일부 비금속과 같이 융점이 낮은 재료에 이상적입니다.
전자빔 증발은 산화물을 포함하여 융점이 높은 재료를 처리할 수 있습니다.
3. 순도 및 밀도
전자빔 증착은 일반적으로 순도와 밀도가 더 높은 필름을 생산합니다. 이는 재료가 직접 가열되어 도가니로 인한 오염을 피할 수 있기 때문입니다.
열 증발은 도가니가 가열되기 때문에 박막 코팅의 밀도가 떨어지고 불순물의 위험이 높아질 수 있습니다.
4. 증착 속도
전자빔 증착은 일반적으로 열 증착에 비해 증착률이 더 높습니다. 즉, 박막을 더 빠르게 증착할 수 있습니다.
5. 공정 환경
전자빔 증착은 고진공 챔버에서 발생합니다. 이를 통해 증기상의 원자 또는 분자가 침전되어 기판에 박막 코팅을 형성합니다.
열 증발은 통제된 환경에서도 발생하지만 도가니를 사용하기 때문에 공정이 다릅니다.
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