화학 기상 증착(CVD)은 고품질의 고성능 고체 재료를 생산하는 데 사용되는 공정입니다.
일반적으로 진공 조건에서 기체 전구체의 반응을 포함합니다.
이 공정은 주로 다양한 기판에 박막과 코팅을 증착하는 데 사용됩니다.
이러한 기판에는 반도체, 태양광 패널 및 기타 재료가 포함됩니다.
5가지 핵심 사항 설명
1. 휘발성 전구체의 도입
이 공정은 휘발성 전구체를 반응 챔버에 도입하는 것으로 시작됩니다.
반응 챔버는 진공 상태로 유지됩니다.
2. 가열 및 반응
이 전구체는 특정 반응 온도까지 가열됩니다.
가열하면 반응하거나 분해되어 원하는 코팅 물질이 형성됩니다.
3. 기판에 접착
그런 다음 이 물질은 기판 표면에 결합합니다.
시간이 지남에 따라 고르게 쌓입니다.
4. CVD 공정의 유형
CVD 공정에는 여러 유형이 있습니다.
여기에는 표준 CVD, 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD), 유도 결합 플라즈마 화학 기상 증착(ICPCVD)이 포함됩니다.
각 방법에는 고유한 장점과 응용 분야가 있습니다.
5. 다목적성 및 제어
CVD는 고품질 박막과 코팅을 증착하기 위한 다목적 공정입니다.
반응 조건과 전구체를 신중하게 제어함으로써 CVD는 다양한 재료를 생산할 수 있습니다.
이러한 재료에는 금속, 반도체, 유전체 등이 포함됩니다.
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