전자빔 유도 증착(EBID)은 전자빔을 사용하여 기판 위에 박막으로 재료를 증착하는 데 사용되는 공정입니다.
6가지 주요 단계 설명
1. 전자 빔 생성
이 공정은 전자빔을 생성하는 것으로 시작됩니다. 이는 일반적으로 필라멘트(일반적으로 텅스텐으로 만들어짐)를 고온으로 가열하여 전자의 열 방출을 일으킴으로써 이루어집니다. 또는 전자를 추출하기 위해 높은 전기장을 가하는 전계 방출을 사용할 수도 있습니다.
2. 빔 조작 및 타겟팅
생성된 전자 빔은 전기장과 자기장을 사용하여 조작하여 증착할 물질이 들어 있는 도가니를 향해 초점을 맞추고 조준합니다. 도가니는 증착 재료와 반응하지 않는 높은 융점을 가진 재료로 만들어지는 경우가 많으며, 가열을 방지하기 위해 냉각될 수 있습니다.
3. 재료 기화
전자빔이 도가니의 물질에 부딪히면 물질에 에너지를 전달하여 증발하게 됩니다. 재료에 따라 용융 후 증발(알루미늄과 같은 금속의 경우) 또는 승화(세라믹의 경우) 과정이 포함될 수 있습니다.
4. 기판에 증착
증발된 재료는 진공 챔버를 통과하여 기판 위에 증착됩니다. 고진공 환경은 재료가 일직선으로 이동하도록 보장하여 정밀한 증착을 가능하게 합니다. 공정 중에 기판을 이동하거나 회전하여 균일한 코팅을 얻을 수 있습니다.
5. 개선 및 제어
이온 빔을 사용하여 기판을 전처리함으로써 증착 공정을 개선하여 증착된 재료의 접착력을 높이고 더 조밀하고 견고한 코팅을 얻을 수 있습니다. 가열, 진공 수준 및 기판 위치와 같은 매개변수를 컴퓨터로 제어하여 미리 지정된 두께와 특성을 가진 코팅을 생성할 수 있습니다.
6. 응용 분야
EBID는 특정 반사 및 투과 특성을 가진 코팅을 만들기 위한 광학, 전자 재료 성장을 위한 반도체 제조, 보호 코팅 형성을 위한 항공 우주 등 다양한 산업에서 사용됩니다.
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