증발 가열은 열이 물질에 전달되어 원자 또는 분자가 고체 또는 액체 상태에서 기체 상태로 전환하기에 충분한 에너지를 얻게 하는 과정입니다.
이 과정은 재료 코팅에 사용되는 물리적 기상 증착 기술을 비롯한 다양한 응용 분야에서 필수적입니다.
증발 가열 과정의 4가지 주요 단계
1. 재료 가열
증발할 재료는 고진공 환경에서 가열됩니다.
이는 일반적으로 줄 가열을 통해 이루어지며, 재료가 들어 있는 저항성 보트에 전류를 통과시켜 재료를 가열합니다.
2. 기체 상으로의 전환
물질이 가열되면 원자나 분자는 운동 에너지를 얻습니다.
이 에너지가 고체 또는 액체 상태로 유지되는 응집력을 극복하기에 충분하면 기체 상태로 전환됩니다.
3. 기판 위에 증착
기화된 분자는 소스에서 기판으로 이동하여 핵을 형성하고 박막 코팅을 형성합니다.
이 단계는 다양한 재료에 박막 코팅을 만드는 것과 같은 응용 분야에서 필수적입니다.
4. 증발 속도 향상
증발 속도를 높이기 위해 재료의 온도를 높여 증기압을 높입니다.
증기압이 높아지면 분자가 기체 상태로 전환되는 속도가 빨라집니다.
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