기판에 박막을 증착할 때 두 가지 일반적인 방법은 스퍼터링 증착과 열 증발입니다.
고려해야 할 5가지 핵심 사항
1. 공정 메커니즘
스퍼터링 증착은 기판에 박막을 증착하기 위해 통전된 기체 분자를 사용합니다.
열 증착은 열을 사용하여 고체 원료를 증발시키거나 승화시킵니다.
2. 필름 품질 및 균일성
스퍼터링은 더 나은 필름 품질과 균일성을 제공합니다.
열 증착은 더 높은 증착률을 제공합니다.
3. 비용 및 복잡성
스퍼터링은 더 복잡하고 비용이 많이 듭니다.
열 증착은 더 비용 효율적이고 덜 복잡합니다.
4. 재료 호환성
스퍼터링은 금속, 비금속, 합금 및 산화물을 증착하는 데 사용할 수 있습니다.
열 증착은 용융 온도가 낮은 금속 또는 비금속의 더 얇은 박막에 적합합니다.
5. 스텝 커버리지 및 확장성
스퍼터링은 더 나은 스텝 커버리지와 확장성을 제공합니다.
열 증착은 높은 처리량과 대량 생산을 제공합니다.
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