열 증발과 전자빔 증발의 주요 차이점은 재료를 증발시키는 데 사용되는 방법입니다.
열 증발에서는 열을 사용하여 물질을 기화시킵니다. 재료가 담긴 도가니를 고온으로 가열하여 재료가 기화되도록 합니다. 이 방법은 낮은 용융 온도가 필요한 금속 및 비금속 재료에 적합합니다. 열 증발은 순도와 기판 접착력이 좋은 박막을 생성할 수 있지만 도가니가 가열되어 코팅 밀도가 떨어지고 불순물이 발생할 위험이 더 커질 수 있습니다.
반면 전자빔 증착은 고에너지 전자 빔을 사용하여 재료를 기화시키는 물리적 기상 증착 공정입니다. 그런 다음 기화된 재료가 기판에 응축되어 박막을 형성합니다. 전자빔 증착은 산화물과 같은 고온 재료를 처리할 수 있으며 순도가 높고 기판에 대한 접착력이 좋은 필름을 생산할 수 있습니다. 또한 열 증착에 비해 증착 속도가 더 빠릅니다.
요약하면, 열 증착은 열을 사용하여 재료를 증발시키는 반면 전자빔 증착은 고에너지 전자 빔을 사용합니다. 두 방법 중 어떤 방법을 선택할지는 증착할 재료의 특정 요구 사항과 박막의 원하는 특성에 따라 달라집니다.
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