진공 증착은 다양한 기판에 박막이나 코팅을 형성하기 위해 재료를 가열하는 공정입니다. 이 과정은 오염을 방지하고 원하는 재료만 박막을 형성할 수 있도록 진공 환경에서 진행됩니다.
7가지 핵심 사항을 설명합니다: 진공 증착에는 어떤 재료가 사용되나요?
1. 증착 재료의 정의 및 목적
증착 재료는 증발 과정을 통해 표면에 박막이나 코팅을 형성하는 데 사용되는 물질입니다.
이러한 재료는 기화될 때까지 고온으로 가열됩니다. 그런 다음 기화된 물질이 기판에 응축되어 박막을 형성합니다.
2. 증발 보트
증발 보트는 필수 열 증발 재료입니다. 주로 텅스텐, 몰리브덴, 탄탈륨으로 만들어집니다.
이 보트에는 BN, TiB2, AlN 분말과 같은 원재료가 포함되어 있습니다. 3성분 보트와 2성분 보트가 있습니다.
3. 바스켓 히터
바스켓 히터를 사용하면 도가니 없이 증발 물질을 바스켓에 직접 적재할 수 있습니다.
증발 소스의 선택은 코팅할 기판에 따라 결정되며, 소스와 기판 간의 일치를 보장합니다.
4. 진공 증착 공정
진공 증발은 오염을 방지하기 위해 10-5~10-9 토르의 가스 압력 범위에서 발생합니다.
증발된 재료는 증착 속도가 현저히 높아지려면 증기압이 10mTorr 이상인 온도에 도달해야 합니다.
일반적인 기화 소스에는 저항 가열된 연선, 보트 또는 도가니, 고에너지 전자빔이 포함됩니다.
5. 간접 가열
일부 소재는 고온에 직접 노출되면 침식되기 쉬우므로 간접 가열이 필요합니다.
알루미나, 산화 이트륨 또는 지르코니아처럼 내열성과 안정성이 뛰어난 소재는 간접 가열용 도가니를 만드는 데 사용됩니다.
6. 열 증발 재료
진공 증발에는 금, 은, 티타늄, 이산화규소, 텅스텐, 구리 및 다양한 합금을 포함한 광범위한 재료가 사용될 수 있습니다.
이러한 재료는 기판과의 호환성 및 원하는 필름 특성에 따라 선택됩니다.
7. 역사적 맥락
진공에서의 열 증발에 대한 연구는 19세기 후반에 H. 헤르츠와 S. 스테판과 같은 과학자들의 초기 공헌으로 시작되었습니다.
토마스 에디슨은 진공 증착 및 필름 증착에 관한 특허를 출원했지만, 그의 공정에는 용융 물질의 증발이 포함되지는 않았습니다.
실험실 장비 구매자는 이러한 핵심 사항을 이해함으로써 진공 증착 공정에서 증착 재료의 선택과 사용에 대해 정보에 입각한 결정을 내리고 특정 응용 분야에 가장 적합한 결과를 보장할 수 있습니다.
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