진공 열 증착 증착 기술이란 무엇인가요?
요약:
진공 열 증착은 진공 챔버에서 재료를 가열하여 기화시킨 다음 기판에 응축시키는 물리적 기상 증착(PVD) 기법입니다. 이 공정은 일반적으로 기화된 재료가 충돌 없이 기판에 도달할 수 있도록 가스 압력이 낮은 제어된 환경에서 기판에 재료의 박막을 증착하는 데 사용됩니다.
-
자세한 설명:프로세스 설정:
-
이 공정은 일반적으로 텅스텐이나 몰리브덴과 같은 내화성 재료로 만들어진 도가니 또는 보트를 수용하는 스테인리스 스틸로 만들어진 진공 챔버에서 시작됩니다. 증착할 재료(증착제)를 이 도가니 안에 넣습니다.
-
가열 및 증발:
-
재료는 전류 또는 전자빔을 사용하여 가열됩니다. 이 가열은 재료의 표면 원자가 표면을 떠나 증기로 변할 만큼 충분한 에너지를 얻을 때까지 계속됩니다. 효과적인 증착을 위해서는 재료의 증기압이 최소 10mTorr에 도달해야 합니다.진공 상태에서 증착:
-
진공 환경은 기화된 물질이 기체 분자와 충돌하지 않고 기판으로 이동하도록 보장하기 때문에 매우 중요합니다. 챔버 내부의 압력은 기화된 입자의 평균 자유 경로가 소스와 기판 사이의 거리보다 긴 수준(일반적으로 10^-5 ~ 10^-9 Torr)으로 유지됩니다.
기판 코팅:
기화된 물질이 기판에 응축되어 얇은 필름을 형성합니다. 기판은 일반적으로 증발하는 물질 위에 위치하며 증착은 "가시선"으로 이루어지므로 증기가 소스에서 기판으로 직접 경로를 따라 이동합니다.
