전자빔 증착으로 증착된 박막은 다양한 광학 응용 분야에서 널리 사용됩니다.
이러한 응용 분야에는 태양광 패널, 안경, 건축용 유리가 포함됩니다.
이 방법은 항공우주 및 자동차 산업에서도 매우 효과적입니다.
특히 고온 저항성과 내마모성을 갖춘 소재를 생산할 수 있다는 점에서 높은 평가를 받고 있습니다.
1. 전자빔 증발 공정
전자빔 증착 공정에서는 고하전 전자빔을 사용하여 대상 물질을 증발시킵니다.
전자 빔은 자기장을 사용하여 대상 물질에 집중됩니다.
전자의 충격은 융점이 매우 높은 물질을 포함하여 광범위한 물질을 증발시키기에 충분한 열을 발생시킵니다.
그런 다음 증발된 물질이 기판 위에 증착되어 박막을 형성합니다.
이 공정은 낮은 챔버 압력에서 수행되어 배경 가스가 필름과 화학적으로 반응하는 것을 방지합니다.
2. 응용 분야 및 재료
전자빔 증착은 금속 및 유전체 유형 재료를 포함하여 다양한 재료를 선택할 수 있습니다.
이 기술은 다목적이며 리프트오프, 오믹, 절연, 전도성 및 광학 애플리케이션과 같은 다양한 용도로 사용할 수 있습니다.
이 공정은 특히 4 포켓 회전 포켓 소스와 같은 소스를 통해 여러 레이어를 증착할 수 있다는 점에서 선호됩니다.
3. 장점 및 제어
전자빔 증착의 중요한 장점 중 하나는 제어 가능성과 반복성입니다.
또한 박막의 성능 특성을 향상시키기 위해 이온 소스를 사용할 수 있습니다.
이 공정은 고도로 제어할 수 있어 특정 광학 특성이나 환경 요인에 대한 높은 내성이 필요한 애플리케이션에 매우 중요한 재료를 정밀하게 증착할 수 있습니다.
4. 결론
요약하면, 전자빔 증착은 박막 증착에 매우 효과적인 방법입니다.
특히 정밀한 광학적 특성이나 온도 및 마모에 대한 높은 저항성이 필요한 응용 분야에 유용합니다.
다양한 재료를 처리할 수 있고 제어가 가능하기 때문에 광학, 항공우주, 자동차 등 다양한 산업에서 선호되는 방법입니다.
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