저압 화학 기상 증착(LPCVD)이 대기압 화학 기상 증착(APCVD)에 비해 갖는 주요 이점(우수한 필름 균일도, 순응도 및 순도 포함)을 마이크로일렉트로닉스 분야에서 알아보십시오.
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